【摘要】如今精密工程技术的发展日新月异，精密定位技术也随之应用在越来越多的领域。超磁致伸缩材料(GiantMagnetostrictiveMaterial，GMM)作为一种新兴的智能材料，它具有响应速度快、应变大、可靠性好等优点，是制造精密位移致动器的理想材料。但是，GMM作为超磁致伸缩致动器(GiantMagnetostrictiveActuator，GMA)的主要动力部件，存在着非线性、磁滞回 […]

【摘要】随着科学技术的迅猛发展，近年来具有微纳米级精度的超精密驱动定位技术在科学仪器、生命科学、信息通讯、精密光学、超精密加工等高科技领域逐渐占据了无法替代的重要作用，已成为当今世界高新技术领域的热门研究课题和关键核心技术之一。面向这些需求，具有精密驱动定位功能的各式各样新型驱动器被研制开发出来，相比于传统驱动器和其他类型的新式驱动器而言，压电驱动器具有结构紧凑、精度高、功耗低、噪声小、响应迅速、 […]