【摘要】随着科学技术的迅猛发展，近年来具有微纳米级精度的超精密驱动定位技术在科学仪器、生命科学、信息通讯、精密光学、超精密加工等高科技领域逐渐占据了无法替代的重要作用，已成为当今世界高新技术领域的热门研究课题和关键核心技术之一。面向这些需求，具有精密驱动定位功能的各式各样新型驱动器被研制开发出来，相比于传统驱动器和其他类型的新式驱动器而言，压电驱动器具有结构紧凑、精度高、功耗低、噪声小、响应迅速、 […]