【摘要】在一些特征尺寸的微尺度器件、机械或系统中，常常要使用微结构功能表面，这些微尺度器件、机械或系统在信息、能源、环境、生物、医学、国防等领域有着重要的市场应用前景。超精密机械压印是获得微尺度或纳尺度结构表面的重要方法之一，该方法采用微尺度金刚石压头或嵌有微纳结构的金刚石压头，通过压头作连续高频的椭圆冲压运动，从而快速获得模具表面微或纳结构，再利用具有微结构表面的模具批量复制微结构功能表面器件。 […]

【摘要】光学自由曲面形状复杂,精度要求很高,传统加工方法很难满足性能要求。快刀伺服车削加工技术通过高频响、高精度的刀具驱动装置,在主轴角度反馈的基础上,控制刀具实时跟踪工件面形的变化,能完成具有复杂面形的微光学元件模具的精密高效加工。本课题的研究目标是针对快刀伺服车削加工的特点,以压电陶瓷作为快刀伺服系统的驱动部件,以带柔性铰链的刀架作为高频响输出位移的转换机构,研制出一套超精密快速车削伺服进刀系 […]

【摘要】光学自由曲面又名非回转对称光学曲面，英文名Non-RotationalSymmetricSurfaces,其简称为NRS曲面。随着光学自由曲面在航空航天、民用及军事工业领域的广泛应用，人们越来越希望以更简便、经济、可靠以及高效的方式来获得高质量的光学自由曲面。课题为寻找一种满足实际需要的大行程快速刀具伺服系统(简称FTS)而展开研究，在对比国内外学者的研究成果之后，决定设计一种新型的两自由 […]

【摘要】随着科学技术的迅猛发展，近年来具有微纳米级精度的超精密驱动定位技术在科学仪器、生命科学、信息通讯、精密光学、超精密加工等高科技领域逐渐占据了无法替代的重要作用，已成为当今世界高新技术领域的热门研究课题和关键核心技术之一。面向这些需求，具有精密驱动定位功能的各式各样新型驱动器被研制开发出来，相比于传统驱动器和其他类型的新式驱动器而言，压电驱动器具有结构紧凑、精度高、功耗低、噪声小、响应迅速、 […]