【摘要】随着半导体行业的发展,晶圆作为半导体器件的基础材料,应用越来越广泛。晶圆测试是芯片制造及封装过程中所必不可少的,该行业也得到了迅猛的发展,主要体现在相应设备的研究上。自动传输系统是晶圆探针测试台的主要组成部分,其功能是实现晶圆在不同工位之间快速、高效、可靠的转移,它直接体现出整机的自动化程度。本文根据晶圆测试自动传输系统的结构特点和运动特性,对其进行了结构设计和虚拟装配。在此基础上,对机械 […]

【摘要】本文旨在规划出一条运行过程中各杆件角位移、角速度、角加速度无突变的时间最优无碰运动轨迹。选定PUMA560机械臂为研究对象,建立运动学模型,建立动力学模型,采用B-样条函数规划出一条机械臂末端的运动轨迹,以时间最优为准则采用遗传算法优化已得轨迹,最终得到时间最优机械臂末端运行轨迹。本文主要研究内容如下：首先,简化了总体机械臂几何模型,建立了连杆坐标系,选用D-H方法建立齐次变换矩阵,根据模 […]