【摘要】随着半导体行业的发展,晶圆作为半导体器件的基础材料,应用越来越广泛。晶圆测试是芯片制造及封装过程中所必不可少的,该行业也得到了迅猛的发展,主要体现在相应设备的研究上。自动传输系统是晶圆探针测试台的主要组成部分,其功能是实现晶圆在不同工位之间快速、高效、可靠的转移,它直接体现出整机的自动化程度。本文根据晶圆测试自动传输系统的结构特点和运动特性,对其进行了结构设计和虚拟装配。在此基础上,对机械 […]