【摘要】鉴于传统硅基MEMS压力传感器在高温、潮湿等复杂环境中的应用具有一定的局限性，本文设计了一种SiC基无线高温压力传感器，能够克服高温环境中传统压力传感器压敏结构失稳及电引线性能退化的问题。SiC材料作为一种新兴的第三代宽带隙半导体材料，其半导体器件能够适应高温、高频、大功率等工作环境，随着SiC材料MEMS加工工艺的不断成熟，对其进行高温压力传感器的制备研究具有重要的现实意义。本文结合国内 […]

【摘要】矢量水听器作为一种能够同时获得声场标量信息和矢量信息的水听器，得到国内外水声领域的高度重视。由中北大学研制的二维MEMS仿生矢量水听器具有体积小、低频响应好，刚性安装等优点，但也存在只能实现二维平面定向，无法有效确定水下目标空间方位的缺陷。为实现水下声目标空间定向，本文对MEMS仿生三轴向压阻矢量水听器进行了研究。首先，本文在分析研究鱼类侧线感觉器的基础上，设计了水听器的MEMS仿生三轴微 […]

【摘要】超级电容器，是一种新型电能储存元件，具有电容量大、漏电流小等优点，目前已被广泛应用于多个领域。但随着越来越多的微纳米尺寸的微小型器件得到应用，普通超级电容器由于尺寸大已无法为这些微小型器件提供能源，因此人们将MEMS技术与超级电容器相结合，研制出一种微纳米尺寸的新型超级电容器，它被称为MEMS超级电容器或者MEMS微电容。MEMS微电容具有存储能量大、循环寿命长、体积微型化等优点，可为微小 […]

【摘要】微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems),即MEMS,是涉及到机械、电子、流体力学、热力学、材料力学、生物学等多学科的交叉领域,它是微电子系统与其他可以进行信息或能量传输、转换的系统相结合的产物。微梳齿谐振器是一种经典的MEMS器件,由于其能实现机械能和其他能量的转换,可以在从1KHz-1MHz频率范围内产生较大的振幅,设计灵活等优点,被广泛的应用于各个 […]

【摘要】石英晶体温度传感器的工作原理是基于压电谐振器对温度的热敏感性，属于热敏型压电谐振传感器。石英晶体温度传感器具有精度高、迟滞小和稳定性好等优点，是一种以频率作为输出信号的准数字温度传感器，在高精密测温领域中发挥着重要的作用。各向异性的石英晶体具有压电效应属于压电弹性体，存在固有谐振频率，其谐振频率特性与晶体的切向密切相关。通过合理设计石英晶体的切向，可使石英晶体的谐振频率与温度密切相关，因此 […]

【摘要】地震预警在破坏性地震初至波到来前,提供几秒到几十秒的预警时间,可采取相应的应急措施。烈度速报在破坏性地震发生后数分钟之内,绘制出受灾地域的烈度图,快速评估人员伤亡和经济损失情况,并能够为应急救援和工程抢修提供决策依据。这两种技术有助于降低震后损失,减少次生灾害和人员伤亡。论文研究了地震预警与烈度速报两种技术的工作原理。总结了地震预警技术的多种实现手段,分析了各自的优缺点及适用范围,挑选出合 […]