【摘要】超级电容器，是一种新型电能储存元件，具有电容量大、漏电流小等优点，目前已被广泛应用于多个领域。但随着越来越多的微纳米尺寸的微小型器件得到应用，普通超级电容器由于尺寸大已无法为这些微小型器件提供能源，因此人们将MEMS技术与超级电容器相结合，研制出一种微纳米尺寸的新型超级电容器，它被称为MEMS超级电容器或者MEMS微电容。MEMS微电容具有存储能量大、循环寿命长、体积微型化等优点，可为微小 […]