【摘要】微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems),即MEMS,是涉及到机械、电子、流体力学、热力学、材料力学、生物学等多学科的交叉领域,它是微电子系统与其他可以进行信息或能量传输、转换的系统相结合的产物。微梳齿谐振器是一种经典的MEMS器件,由于其能实现机械能和其他能量的转换,可以在从1KHz-1MHz频率范围内产生较大的振幅,设计灵活等优点,被广泛的应用于各个 […]