微机电系统微传感器的结构分析和优化研究

微机电系统微传感器的结构分析和优化研究

作者:师大云端图书馆 时间:2016-06-12 分类:硕士论文 喜欢:1793
师大云端图书馆

【摘要】微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems),即MEMS,是涉及到机械、电子、流体力学、热力学、材料力学、生物学等多学科的交叉领域,它是微电子系统与其他可以进行信息或能量传输、转换的系统相结合的产物。微梳齿谐振器是一种经典的MEMS器件,由于其能实现机械能和其他能量的转换,可以在从1KHz-1MHz频率范围内产生较大的振幅,设计灵活等优点,被广泛的应用于各个领域,如汽车安全气囊、小卫星、磁头驱动器等,因此对微梳齿谐振器的结构分析和优化设计的研究,以及对MEMS器件的开发应用具有重要意义。本文围绕微梳齿谐振器和微带通滤波器的工作原理、结构分析和优化以及空气阻尼对其动态特性的影响等方面展开研究,旨在建立和完善MEMS传感器结构的优化分析技术。针对微梳齿谐振器的工作原理的介绍,包括对其结构的分析、静电驱动原理和动力学原理的解析,为后续的微谐振器的动态分析和建立系列化微谐振器器件的动态特性分析求解程序提供了理论依据。针对微梳齿谐振器结构优化分析的研究是建立在微谐振器结构参数化的基础上,通过ANSYSWorkbench分析结构参数对谐振频率的影响,为参数化的目标优化设计提供了参考和依据,通过模态分析和谐响应分析,获得共振频率、主振型、幅频、相频曲线等相关振动特性。采用APDL编程分析研究了微梳齿谐振器在受到空气阻尼时的动态特性,程序建立在对微谐振器结构和功能的分析上,通过添加条件和约束建立程序模型,采用不同的有限元单元类型代替微梳齿谐振器不同的功能部件,其中采用FLUID139单元类型设置空气阻尼模型,最后通过分析结果数据总结出空气阻尼对微梳齿谐振器振动的动态特性影响,与其他方法相比,此方法快速、实用、适应性好。基于微梳齿谐振器结构分析和优化方法的总结对微带通滤波器进行优化分析,并比较了其动态特性在优化前后的明显改善。本文主要以微梳齿谐振器的结构分析和优化设计为例,为MEMS微传感器的结构分析和优化设计提供了一种系统化分析模式,对MEMS领域的微传感器结构的优化设计工作有一定的参考价值。
【作者】于京明;
【导师】孟婥;
【作者基本信息】东华大学,机械电子工程,2013,硕士
【关键词】MEMS;微梳齿谐振器;目标优化设计;APDL;空气阻尼;

【参考文献】
[1]任小强.microRNA-218在肾透明细胞癌中的表达及临床意义[D].河南科技大学,外科学(专业学位),2014,硕士.
[2]商玉玺.中国刑事禁止令制度探究[D].上海大学,法律,2012,硕士.
[3]韦友传.广西狂犬病病毒P基因和M基因的克隆与序列分析[D].广西大学,预防兽医学,2004,硕士.
[4]王慧聪.大规模定制生产环境下模块化时间定额集成方法研究[D].重庆大学,工业工程,2014,硕士.
[5]李莉,刘玉田.一种系统断面自适应复合解列判据[J].电力系统自动化,2009,22:40-43.
[6]吕品.数值浪槽的建立与应用研究[D].哈尔滨工业大学,结构工程,2014,硕士.
[7]贾久恩.用于提高地震剖面分辨率的谱平衡技术[J].石油地球物理勘探,1998,01:139.
[8]宋秋婵.论中日钓鱼岛争端的国际司法解决[D].西南政法大学,国际法学,2012,硕士.
[9]王道兵,钟其顶,李国辉,程涛,武竹英,戴祁,黄占斌,陈文斌.发酵乙醇中13C/12C分布的影响因素研究[J].酿酒科技.
[10]刘庆华.浅探阅读测试的两种题型——多项选择和简答题[D].东华大学,外国语言学及应用语言学,2004,硕士.
[11]刘敬.心灵与精神的终生修炼[D].河北师范大学,文艺学,2013,硕士.
[12]李震.内冷式麻花钻的参数化设计及有限元分析[D].哈尔滨理工大学,机械设计及理论,2012,硕士.
[13]赵九洲.顺铂对鼻咽癌细胞rad51基因表达的影响[D].遵义医学院,外科学(专业学位),2014,硕士.
[14]高静.对外汉语教学中的民俗文化教学内容与策略研究[D].湖南师范大学,汉语国际教育(专业学位),2014,硕士.
[15]刘岗.矿用红外瓦斯传感器的设计[D].中北大学,测试计量技术及仪器,2013,硕士.
[16]史忠贤.基于语义相似度的公共危机事件案例库检索方法研究[D].兰州大学,情报学,2013,硕士.
[17]蔡靓.抗幽门螺杆菌UreB单克隆抗体的制备及双抗体夹心ELISA方法的建立[D].甘肃农业大学,预防兽医学,2013,硕士.
[18]龙胜春,尧丽君.行程长度纹理特征应用于肠癌病理图片识别[J].浙江工业大学学报,2015,01:110-114.
[19]李方.网页信息呈现的单页和多页的工效学研究[D].浙江理工大学,应用心理学,2013,硕士.
[20]邓云.LGR5在宫颈癌组织表达的临床意义及其对宫颈癌细胞生物学行为的影响[D].苏州大学,免疫学,2014,硕士.
[21]吕大国.基于劳动力成本差异的异质性企业集聚[D].南京大学,西方经济学,2013,硕士.
[22]郭丽红.轻量级目录访问协议分析与安全检测[D].长春理工大学,计算机应用技术,2004,硕士.
[23]吕霞.Cry1A基因改造及其对玉米的遗传转化[D].东北农业大学,作物遗传育种,2013,硕士.
[24]张晓燕.程序民主视角下农村基层选举探究[D].曲阜师范大学,政治学理论,2013,硕士.
[25]王刚.交互式虚拟内窥镜系统研究[D].西安电子科技大学,信号与信息处理,2003,硕士.
[26]张馨月.船员英语适任考试大纲与国际海事组织英语示范课程对比研究[D].大连海事大学,外国语言学与应用语言学,2013,硕士.
[27]苏健.黑龙江东南部高校中年教师体育锻炼现状及干预研究[D].牡丹江师范学院,体育教育训练学,2012,硕士.
[28]曹珍.复杂网络分形特性的统计研究[D].哈尔滨工业大学,应用数学,2013,硕士.
[29]徐步飞.鄂尔多斯市民族文化产业发展政策选择[D].内蒙古大学,公共管理,2014,硕士.
[30]赵新儒.紫色土交换性阳离子定比交换能力研究[D].西南大学,土壤学,2014,硕士.
[31]张红岩.实时信息下应急车辆配送路线优化问题研究[D].长安大学,载运工具运用工程,2013,硕士.
[32]武毅,罗延钟.鄂尔多斯白垩系盆地地下水电磁法勘查[J].石油地球物理勘探,2004,S1:85-89+169.
[33]魏铠房.实行建设监理制度的必要性[J].中国铁路.1994(04)
[34]于姗.基于SVM的我国商业银行信用风险管理模型研究[D].山东大学,概率论与数理统计,2013,硕士.
[35]唐大海.复杂投入产出流网络研究[D].中国科学技术大学,理论物理,2014,博士.
[36]陈建文.视频压缩应用程序的性能优化研究[D].中国人民解放军国防科学技术大学,2002.
[37]王巍.励志影视作品的德育内涵及其对大学生的影响研究[D].南京农业大学,思想政治教育,2013,硕士.
[38]郑邦坤.论KDD和DM的界定及其应用[J].情报杂志,2003,10:72-73.
[39]苏玉成.上海电影节信息管理系统实现[D].复旦大学,软件工程,2012,硕士.
[40]陈晓明.负压封闭引流在狭长窄蒂皮瓣移植中的临床研究[D].苏州大学,整形外科(专业学位),2014,硕士.
[41]毛红缨.天水市邮政局员工激励机制研究[D].西安理工大学,工商管理,2003,硕士.
[42]宫会丽.烟叶近红外光谱特征提取与相似性度量研究[D].中国海洋大学,计算机应用技术,2014,博士.
[43]雷瑜,张小玲,唐宜西,范广洲,周定文.北京城区PM2.5及主要污染气体“周末效应”和“假日效应”研究[J].环境科学学报.
[44]吴增志,徐效智,杨瑞国,刘彦琴,徐桂生.杨树苗期合理密度与合理密度线研究[J].植物生态学报,1994,02:177-183.
[45]王霞.我国民族自治地方税收立法权问题研究[D].华中师范大学,宪法学与行政法学,2013,硕士.
[46]王海东,张璐璐,朱志红.刈割、施肥对高寒草甸物种多样性与生态系统功能关系的影响及群落稳定性机制[J].植物生态学报,2013,04:279-295.
[47]吕志勇.不同隔震支座的隔震效应分析对比[D].安徽建筑大学,结构工程,2013,硕士.
[48]史婉婷.从两版范畴的先验演绎浅析康德哲学中的想象力学说[D].吉林大学,外国哲学,2014,硕士.
[49]李国兴,赵景珊,孙科,王强,王明.原位聚合制备聚氨酯/氧化石墨烯纳米复合材料的力学性能和热稳定性能研究[J].材料研究学报,2014,12:901-908.
[50]柴立峰.《武汉日报》关于“国难”问题的宣传研究(1931-1938)[D].华中师范大学,中国近现代史,2013,硕士.

相关推荐
更多