【摘要】鉴于传统硅基MEMS压力传感器在高温、潮湿等复杂环境中的应用具有一定的局限性，本文设计了一种SiC基无线高温压力传感器，能够克服高温环境中传统压力传感器压敏结构失稳及电引线性能退化的问题。SiC材料作为一种新兴的第三代宽带隙半导体材料，其半导体器件能够适应高温、高频、大功率等工作环境，随着SiC材料MEMS加工工艺的不断成熟，对其进行高温压力传感器的制备研究具有重要的现实意义。本文结合国内 […]

【摘要】随着微机电系统技术的发展，压电泵凭借其结构简单、易于微型化等特点得到了广泛的研究和应用。压电隔膜泵是众多压电泵中最典型的一种，人们通过先进的设计理念和制造工艺对它进行优化，使压电隔膜泵的稳定性和输出性能不断完善和提高。在工业生产领域中压电隔膜泵的实际应用日趋广泛，但是特殊应用场合对压电隔膜泵的外形尺寸和输出性能同时提出了更高的要求。本文结合国家自然科学基金项目《压电型气体隔膜泵设计理论与关 […]

【摘要】石英晶体温度传感器的工作原理是基于压电谐振器对温度的热敏感性，属于热敏型压电谐振传感器。石英晶体温度传感器具有精度高、迟滞小和稳定性好等优点，是一种以频率作为输出信号的准数字温度传感器，在高精密测温领域中发挥着重要的作用。各向异性的石英晶体具有压电效应属于压电弹性体，存在固有谐振频率，其谐振频率特性与晶体的切向密切相关。通过合理设计石英晶体的切向，可使石英晶体的谐振频率与温度密切相关，因此 […]

【摘要】针对现有物料输送装置体积大、噪声大等问题,研制了一种用于高频精密输送装置的新型压电振子,分析了压电振子输送机理,并对输送振子进行了实验测试,结果表明,输送面振幅分布比较均匀;驱动电压与振幅呈线性变化;当驱动电压为120V,谐振频率为34.773kHz时,输送面振幅达到最大,输送性能最佳。 【作者】李红双；何勍； 【机构】沈阳航空航天大学北方科技学院；辽宁工业大学振动工程研究所； 【关键词】 […]

【摘要】发动机是汽车的主要振源之一,研究发动机动力总成悬置系统的动力响应分析与隔振率优化对改善悬置系统设计以提高对汽车NVH(Noise,VibrationandHarshness,简称NVH)的抑制性能具有重要意义。本文以某国产载重车为研究对象,对车辆发动机动力总成悬置系统的动力响应分析和以提高隔振率为目标的优化设计进行了研究。主要研究工作包括以下几个方面：首先,论述了国内外对汽车发动机动力总成 […]