【摘要】多晶硅是电子工业与太阳能产业的基础原料,广泛用于半导体芯片、高性能传感器、光纤、太阳能电池板等。随着我国生产技术的不断发展,多晶硅的生产工艺得到不断提高和改进,目前,我国多晶硅产量已占全球总产量的70%以上。多晶硅还原炉内硅棒直径生长速率等参量的在线监测是实现优化控制的关键环节。然而,在多晶硅还原炉高纯度硅棒生长工艺控制过程中,由于没有针对硅棒直径生长速率等参量的精确监测设备,尚无法实现多 […]

【摘要】本论文针对多晶硅薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)提出了一个解析的亚阈值区电流模型，该模型在金属诱导横向结晶和准分子激光结晶两种不同结晶工艺的器件上得到了验证。首先，本文澄清了多晶硅TFTs的亚阈值区电流成分为漂移电流，并首次发现亚阈值区沟道有效迁移率（effectivechannelmobility,μeff）遵守Meyer-Neldelrul（eMNR）。两种不 […]

【摘要】如今能源问题越来越受到关注，作为清洁的、可再生能源的一个分支，太阳能产业的发展越来越受到各国的重视。根据欧洲联合研究中心的相关预测，太阳能发电在未来能源结构中占有重要战略地位。而太阳能电池的转化效率是光伏发电中的关键问题，为了加工出更加均匀、陷光效果更好的多晶硅绒面，提高太阳能电池的光电转化效率，本文首次提出了一种超声驻波控制下的多晶硅腐蚀制绒的新方法。这种方法通过超声波经由反射端形成超声 […]