多晶硅表面超声驻波制绒方法研究

【摘要】如今能源问题越来越受到关注，作为清洁的、可再生能源的一个分支，太阳能产业的发展越来越受到各国的重视。根据欧洲联合研究中心的相关预测，太阳能发电在未来能源结构中占有重要战略地位。而太阳能电池的转化效率是光伏发电中的关键问题，为了加工出更加均匀、陷光效果更好的多晶硅绒面，提高太阳能电池的光电转化效率，本文首次提出了一种超声驻波控制下的多晶硅腐蚀制绒的新方法。这种方法通过超声波经由反射端形成超声驻波场，由两列独立的相互垂直正交的超声驻波形成二维超声驻波场，通过此驻波场来控制腐蚀溶液中的反应粒子，以此来加工多晶硅的表面微结构。本文将超声驻波对粒子的控制作用，创新性地运用到多晶硅绒面的加工上去，为多晶硅制绒新方法的探寻提出了新的思路。本文首先讨论了流体介质中粒子在超声驻波场中的受力，建立了一维超声驻波场中粒子的运动方程，分析了粒子的受力运动情况。并将此运动方程扩展到了二维情况下，分析了粒子的二维运动状况。然后，通过MATLAB模拟了粒子的一维和二维运动，分析了粒子运动的影响因素，并通过模拟和比较得出了各因素对粒子运动的具体影响。最后，通过实验验证了超声驻波对粒子的控制作用，并进行了超声驻波多晶硅腐蚀试验。本文主要研究内容和成果如下：1.分析了流体中粒子在超声驻波场作用下受到声辐射力、粘滞阻力和虚拟质量力的作用，建立粒子运动方程，分析运动情况得出粒子在一维驻波场中形成直线排列，二维驻波场中呈现“网格状”分布。2.模拟粒子在驻波场中运动情况，分析影响其运动的因素，得出超声频率、声压幅值和粒子半径对粒子运动状况均有影响。超声频率改变粒子分布的位置，频率和声压幅值影响粒子聚集到平衡位置的时间及粒子自身的振动状态，粒子半径影响粒子相对于平衡位置的低频振动。3.多晶硅超声驻波腐蚀试验表明，施加了超声驻波的情况下，多晶硅表面腐蚀坑更加均匀，较深腐蚀坑更多，陷光效果更好。
【作者】杨贤龙；
【导师】吴立群；
【作者基本信息】杭州电子科技大学，机械制造及其自动化，2014，硕士
【关键词】多晶硅；酸腐蚀；超声驻波；粒子控制；

【参考文献】
[1]王晓晴.维吾尔语倒装句语序研究及其对应表达[D].新疆师范大学,中国少数民族语言文学（专业学位）,2013,硕士.
[2]钱璐.中国土地征收制度中的公共利益界定可行性研究[D].苏州大学,土地资源管理,2012,硕士.
[3]张超.强化传递型Zr掺杂有序介孔SiO_2/void/TiO_2填充PVDF光催化膜的研究[D].天津大学,化学工程,2013,硕士.
[4]赵辉.现代筝曲《幻想曲》之探析[D].天津音乐学院,音乐表演,2013,硕士.
[5]孙运强.Ⅰ钳式镍配合物的合成及性质反应研究 Ⅱ有机氟化物的合成新方法研究[D].山东大学,有机化学,2014,博士.
[6]王习文.纳米四氧化三钴系化合物的合成及其超级电容性能的研究[D].中南大学,2012.
[7]王国栋.山东省CUBA男子篮球队现状及对策研究[D].山东体育学院,体育教育,2012,硕士.
[8]刘雅玮.中国外汇交易中心系统用户研究[D].华中科技大学,设计学,2013,硕士.
[9]王腾飞.卷烟零售管理系统设计与实现[D].电子科技大学,软件工程（专业学位）,2012,硕士.
[10]程文则.聚己内酯/壳聚糖梯度支架的制备及其性能研究[D].华中科技大学,生物材料与组织工程,2013,硕士.
[11]辛凤影.乙烯管式裂解炉计算方法的研究及应用[D].大庆石油学院,化学工艺,2004,硕士.
[12]马莉娟.大学生非正式学习的调查研究[D].扬州大学,教育技术学,2012,硕士.
[13]蔡炳清.双浮体式振荡浮子波浪能捕获装置的研究[D].太原科技大学,机械电子工程,2014,硕士.
[14]梁静雯.“问题”公司的市值修复能力研究[D].兰州商学院,国民经济学,2014,硕士.
[15]李轶彬.VTI介质高分辨率速度分析方法研究[D].吉林大学,地球探测与信息技术,2014,硕士.
[16]王毳.卫星IP网关关键技术研究[D].西安电子科技大学,电子与通信,2010,硕士.
[17]周晗.基于GPU的自适应光学性能测算系统研究[D].中国科学院研究生院（光电技术研究所）,电子与通信工程,2014,硕士.
[18]高鸿.“数字故事”在初中一年级语文阅读教学中的实践研究[D].宁夏大学,现代教育技术（专业学位）,2014,硕士.
[19]吴新超.美国广播公司人物专访新闻稿翻译实践报告[D].河北师范大学,翻译,2014,硕士.
[20]胡诚伟.车载武器系统伺服控制装置设计[D].南京理工大学,电子与通信工程,2013,硕士.
[21]粟维政.基于BP神经网络的住宅建筑设计阶段造价审核方法研究[D].广东工业大学,市政工程,2013,硕士.
[22]荆大伟.内蒙航天动力机械测试所内部控制评价与改进[D].内蒙古大学,工商管理,2013,硕士.
[23]朱喜林,武星星,李晓梅.基于改进型模糊聚类的模糊系统建模方法[J].控制与决策,2007,01:73-77.
[24]黄建文.南昌市管道排水与河道排涝设计标准衔接研究[D].南昌大学,市政工程,2012,硕士.
[25]王伟强.基于双RAPF的配电网系统背景谐波抑制策略的研究[D].燕山大学,电力电子与电力传动,2014,硕士.
[26]陈翰苑.贝多芬《月光奏鸣曲》若干演奏版本比较研究[D].湖南师范大学,音乐学,2014,硕士.
[27]刘梅,张焕水,段广仁,王伟.连续系统观测时滞的H_∞控制[J].控制与决策,2006,12:1354-1359.
[28]赵燕峰.风电变流器中IGBT的可靠性研究[D].西南交通大学,电气工程,2012,硕士.
[29]黄栋.锌干预对孕妇全血微量元素浓度及妊娠结局的影响[D].广西医科大学,流行病学与卫生统计学,2004,硕士.
[30]赵丽芳.家蚕微孢子虫（Nosema bombycis）功能基因组研究[D].西南大学,生物化学与分子生物学,2013,硕士.
[31]李娟.中学生“工业旅游型”暑期社会实践模式研究[D].苏州大学,学科教学,2012,硕士.
[32]张蕾,张文明,董恩国.数据挖掘技术在信号特征模式提取中的应用[J].现代制造工程,2005,01:86-88.
[33]孔开朝.模因论视角下的广告语言探析[D].青海师范大学,汉语言文字学,2012,硕士.
[34]邹昕阳.勃拉姆斯《C大调钢琴奏鸣曲》的结构及其音乐语言的探析[D].沈阳师范大学,音乐学,2013,硕士.
[35]顾光进.新时期思想政治教育时代特征与创新研究[D].河海大学,马克思主义理论与思想政治教育,2004,硕士.
[36]王菲.hIL7-SA与mIL21-SA双功能融合蛋白联合锚定治疗表浅膀胱癌的实验研究[D].南方医科大学,免疫学,2012,硕士.
[37]张云英,胡天天.农村老年人长期照护资金筹措模式研究的回顾与反思——基于2000-2014年的国内文献[J].社会保障研究,2014,06:96-103.
[38]梅燕.日语时体系统[ティル]的汉译[D].吉林大学,日语笔译,2013,硕士.
[39]左平良.农村金融调节法治问题研究[D].中南大学,法学,2014,博士.
[40]黄国涛.秦岭翠华山特长隧道全程岩爆预测及防治技术研究[D].西安建筑科技大学,建筑与土木工程,2013,硕士.
[41]单莉.问题导学在高中地理教学中的应用研究[D].华中师范大学,学科教学,2014,硕士.
[42]刘畅.祛胰抵胶囊治疗T2DM动脉粥样硬化的早期临床观察及对AGEs的影响[D].黑龙江中医药大学,中西医结合临床（专业学位）,2014,硕士.
[43]杨阳.DC-DC变换器的混杂系统建模与控制[D].南京理工大学,控制理论与控制工程,2013,硕士.
[44]赵严冬.世界银行业国际化及其发展趋势研究[D].吉林大学,世界经济,2004,硕士.
[45]周海霞.丁玲早期文艺报刊编辑思想论略[D].南京师范大学,中国现当代文学,2011,硕士.
[46]黄天柱,杨庆浩.聚吡咯在超级电容器中的应用[J].广州化学,2012,04:69-75.
[47]段宝华.篮球普修课主要进攻技术不同教学顺序的实验研究[D].西安体育学院,体育,2013,硕士.
[48]耿会涛.桥梁用不锈钢筋与构件受力性能试验研究[D].郑州大学,水工结构工程,2013,硕士.
[49]陈侃,李彬,田联房.基于模糊速度函数的活动轮廓模型的肺结节分割[J].自动化学报,2013,08:1257-1264.
[50]欧阳柏林.多模式无线音视频广播接收机关键技术研究[D].湖南大学,电子与通信工程,2012,硕士.