【摘要】多晶硅是电子工业与太阳能产业的基础原料,广泛用于半导体芯片、高性能传感器、光纤、太阳能电池板等。随着我国生产技术的不断发展,多晶硅的生产工艺得到不断提高和改进,目前,我国多晶硅产量已占全球总产量的70%以上。多晶硅还原炉内硅棒直径生长速率等参量的在线监测是实现优化控制的关键环节。然而,在多晶硅还原炉高纯度硅棒生长工艺控制过程中,由于没有针对硅棒直径生长速率等参量的精确监测设备,尚无法实现多 […]