【摘要】如今能源问题越来越受到关注，作为清洁的、可再生能源的一个分支，太阳能产业的发展越来越受到各国的重视。根据欧洲联合研究中心的相关预测，太阳能发电在未来能源结构中占有重要战略地位。而太阳能电池的转化效率是光伏发电中的关键问题，为了加工出更加均匀、陷光效果更好的多晶硅绒面，提高太阳能电池的光电转化效率，本文首次提出了一种超声驻波控制下的多晶硅腐蚀制绒的新方法。这种方法通过超声波经由反射端形成超声 […]