【摘要】全息三维显示技术提供了几乎和真实物体一样的3D视觉系统所需要的完整信息,并且没有其他技术中出现的人眼会聚和聚焦的矛盾,被普遍认为是真三维显示的终极工具。经典的光全息显示技术使用全息干板或特殊的胶卷作为全息图的记录介质,能够在空中呈现完美重构的物体像。但是,经典的光全息技术不能够展示实时、动态的物体三维重构。上世纪80年代末,MIT多媒体实验室的科研人员使用声光调制器取代了原有的全息记录干板 […]

【摘要】光刻机是极大规模集成电路制造工艺中的核心设备。光刻机投影物镜波像差是影响光刻机成像质量、光刻分辨率和关键尺寸均匀性的重要因素，是光刻机最主要的检测指标之一。基于夏克-哈特曼波前传感器的波像差检测技术是目前主流的投影物镜波像差在线测量方法之一。夏克-哈特曼波前传感器的标定是实现投影物镜波像差高精度检测精度的重要保证。本文基于夏克-哈特曼波前传感器波前检测方法，重点开展亚纳米精度标定用波前生成 […]