【摘要】光刻机是极大规模集成电路制造工艺中的核心设备。光刻机投影物镜波像差是影响光刻机成像质量、光刻分辨率和关键尺寸均匀性的重要因素，是光刻机最主要的检测指标之一。基于夏克-哈特曼波前传感器的波像差检测技术是目前主流的投影物镜波像差在线测量方法之一。夏克-哈特曼波前传感器的标定是实现投影物镜波像差高精度检测精度的重要保证。本文基于夏克-哈特曼波前传感器波前检测方法，重点开展亚纳米精度标定用波前生成 […]

【摘要】纳米颗粒的合成、表征以及应用是纳米技术领域的重要组成部分。近年来,该领域的研究人员对于纳米颗粒结构的研究已经从零维纳米颗粒扩展到了一维的纳米棒,从单一物质的纳米棒扩展到了两种或两种以上材质的复合型纳米棒。人们发现混合或复合结构的一维纳米棒可以进一步优化单一的零维颗粒的电学性能、催化特性和光学性能,并且在某些情况下能够表现出新的特性。本论文,通过化学合成方法分别使用单一表面活性剂和两种表面活 […]

【摘要】近年来，随着人类对电磁理论以及工程技术的深入研究，对电磁波与复杂电磁材料的相互作用机理不断探索，以超材料为代表的人工合成的复杂色散媒质，以及以高超声速等离子体鞘套、电离层等为代表的自然界中的复杂色散媒质的电磁散射特性得到了人们广泛地关注。等离子体鞘套与飞行器组合体目标的电磁散射问题以及超材料在RCS缩减方面巨大的应用潜力引起了国内外科研人员极大的兴趣。本文以色散介质FDTD算法为基础，通过 […]

【摘要】21世纪以来,能源的消耗量急剧增加,导致能源的严重紧缺。为了满足人们对能源的紧急需求,能源的不合理开发和利用变得越来越严重,从而造成环境的污染。如何处理好能源利用和环境保护问题之间的关系是实现可持续发展的重要战略,关系到人类的生存和发展。除了开发新的清洁能源之外,节能减排成为了解决环境问题的一个重要手段。据不完全统计,全世界大约20%的电能被用来照明,然而传统的照明设备的转换效率很低,导致 […]