【摘要】动态目标模拟器是半实物仿真的重要组成部分,本文所设计的动态目标模拟器用于模拟地形地貌图像，它采用的是一种基于空间光调制器的动态目标模拟技术。对地形地貌的高精度模拟在航空航天领域有着较为广泛的应用，多用于对相关设备性能的检测和测试。本文针对这一应用，利用空间光调制器的幅值调制性能，结合计算机控制，生成模拟实际景物图，并通过多种方案的比对，采用平行光管投影模式，实际模拟无穷远处目标图样，用于对 […]

【摘要】光学技术的快速发展对光学系统质量或光学面形要求不断提高,而现有商用干涉仪的检测精度由于受到标准面加工的限制,其检测精度的均方根值(RMS)一般为λ/50～λ/100,无法达到更高的检测精度。针孔点衍射干涉检测技术作为一种高精度检测手段,可实现亚纳米量级的检测精度。在点衍射干涉仪(PDI)中,除了衍射波前误差会影响系统的测量精度外,衍射光的强度和光强均匀性对检测精度也有很大的影响。检测数值孔 […]

【摘要】光刻机是极大规模集成电路制造工艺中的核心设备。光刻机投影物镜波像差是影响光刻机成像质量、光刻分辨率和关键尺寸均匀性的重要因素，是光刻机最主要的检测指标之一。基于夏克-哈特曼波前传感器的波像差检测技术是目前主流的投影物镜波像差在线测量方法之一。夏克-哈特曼波前传感器的标定是实现投影物镜波像差高精度检测精度的重要保证。本文基于夏克-哈特曼波前传感器波前检测方法，重点开展亚纳米精度标定用波前生成 […]

【摘要】随着光学制造技术和数字出图像处理技术以及计算机软件和硬件的进步，空间光学技术也在快速的发展。如今人们对于空间相机的光能收集能力和分辨能力的要求日益增长，而对于相机的覆盖范围要求也越来越高。因此需要大口径的空间光学系统，以满足航天领域及军事科技的需求。制造大口径的空间相机则需要对光学加工手段和高精度检测技术进行改进。在实验室中普遍应用的检测空间光学系统的方法有利用干涉仪对系统进行自准检测和使 […]

【摘要】近年来,生物传感器因具有灵敏度高、选择性好、成本低和方便快捷等优点,被广泛地应用到与生命活动相关的核酸分子、蛋白质、金属离子、小分子和酶的检测当中。纳米材料和功能核酸的发展,为构建新颖的、用于各种目标物检测的生物传感技术提供了全新的设计思路和平台。本论文作为国家自然科学基金(No.21173071)和教育部高等学校博士点专项基金资助课题(No.20114104110002)的一部分,通过把 […]