【摘要】光刻机是极大规模集成电路制造工艺中的核心设备。光刻机投影物镜波像差是影响光刻机成像质量、光刻分辨率和关键尺寸均匀性的重要因素，是光刻机最主要的检测指标之一。基于夏克-哈特曼波前传感器的波像差检测技术是目前主流的投影物镜波像差在线测量方法之一。夏克-哈特曼波前传感器的标定是实现投影物镜波像差高精度检测精度的重要保证。本文基于夏克-哈特曼波前传感器波前检测方法，重点开展亚纳米精度标定用波前生成 […]