【摘要】铁电存储器是一种利用铁电薄膜材料的自发极化在电场中两种不同取向作为逻辑单元来存储数据的非易失性存储器,且具有高速度读写、高密度集成、抗辐射等优点。本博士论文主要分为两大部分：一部分以锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜制备方法和性能研究为基础,采用新的电学测试方法研究铁电薄膜界面钝化层效应和界面层电学特性,在其基础上研究铁电栅介质／掺铝氧化锌薄膜的晶体管存储器件；另一部分以铁酸铋(BFO)铁电薄膜制 […]

【摘要】摘要：凝胶注模成型具有可净尺寸成型复杂形状零部件以及成型生坯强度高等优点,为精细结构陶瓷微纳器件制备成型提供了一种有效手段。本论文发展了基于海因环氧树脂和3,3’-二氨基二丙胺为凝胶体系的PZT凝胶注模成型技术,研究陶瓷浆料制备、凝胶反应过程以及高可靠性坯体成型等问题,结合软膜法实现高密度、深宽比≥5、具有不同截面形状的微米级压电陶瓷柱状阵列制备。论文主要研究成果如下：1.开发了新型的海因 […]

【摘要】钙钛矿型(AB03)铁电薄膜作为电子功能陶瓷领域里最重要的一类铁电材料,具有优异的非挥发存储铁电性以及其它多种重要的传感特性：绝缘介电性、压电性、热释电性、电光性等。能够实现电能与电能、机械能与电能、热能与电能以及光能与电能之间的相互转换,为多种电子元器件的微型化与集成化创造了条件。在能源,国防,汽车,自动化等多个核心领域有着重要的应用前景。值得注意的是,目前电子器件中使用的铁电薄膜绝大多 […]