【摘要】摘要：凝胶注模成型具有可净尺寸成型复杂形状零部件以及成型生坯强度高等优点,为精细结构陶瓷微纳器件制备成型提供了一种有效手段。本论文发展了基于海因环氧树脂和3,3’-二氨基二丙胺为凝胶体系的PZT凝胶注模成型技术,研究陶瓷浆料制备、凝胶反应过程以及高可靠性坯体成型等问题,结合软膜法实现高密度、深宽比≥5、具有不同截面形状的微米级压电陶瓷柱状阵列制备。论文主要研究成果如下：1.开发了新型的海因 […]