【摘要】铁电存储器是一种利用铁电薄膜材料的自发极化在电场中两种不同取向作为逻辑单元来存储数据的非易失性存储器,且具有高速度读写、高密度集成、抗辐射等优点。本博士论文主要分为两大部分：一部分以锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜制备方法和性能研究为基础,采用新的电学测试方法研究铁电薄膜界面钝化层效应和界面层电学特性,在其基础上研究铁电栅介质／掺铝氧化锌薄膜的晶体管存储器件；另一部分以铁酸铋(BFO)铁电薄膜制 […]