【摘要】永磁球形电动机是一种新型的多维电动机,具有结构简单、重量轻、体积小、控制相对简单等特点,在完成三维空间运动方面,相比传统的电动机,可以有效的简化结构的复杂性,提高系统的动静态性能。本论文在系统分析多自由度电动机的发展现状与趋势的基础上,对一种新型的三自由度永磁球形电动机进行了分析和研究,建立并提出了适合于该电动机的动力学模型,分析了基于旋转编码器的滑轨结构的三自由度位置检测装置,在建立的完 […]

【摘要】随着微/纳米科学技术的发展，纳米级定位技术已成为纳米科学技术领域的一项关键技术，对纳米位移台的多自由度测量和校准提出了迫切的要求。本论文依托于国家科技支撑计划课题“纳米位移定位控制技术和系统的研发（2011BAK15B09）”，就纳米位移台的激光干涉校准技术展开研究，旨在建立一套能够同时测量纳米位移定位平台六自由度的激光干涉校准系统。论文分析了激光干涉纳米位移测量技术的国内外研究现状，描述 […]