超薄不锈钢基板CMP过程动态压力和抛光温度在线检测的研究 10月03日
【摘要】平板显示器的技术发展使得柔性显示器逐渐成为发展趋势,而超薄不锈钢基板的出现改善了传统柔性显示衬底在工艺特性上的缺陷。化学机械抛光作为一种新型抛光方法,又进一步满足了高质量、低损伤的技术要求。然而化学机械抛光工艺过程复杂,影响因素较多。抛光过程参数的变化对其化学及物理作用产生影响,其中动态压力和抛光温度的变化更是直接与抛光表面质量有关。由于抛光环境的复杂性及抛光过程参数变化特征导致了这两种动 […]
钛酸锶陶瓷基片双面研磨工艺及其表面质量研究 10月03日
【摘要】钛酸锶陶瓷(SrTiO3)作为一种新型多功能电子陶瓷材料,具有介电常数高、介电损耗低、热稳定性好、耐电压强度高等优点,目前已成为国际上电子陶瓷材料研究的热点。但是采用流延无压烧结工艺烧制的钛酸锶陶瓷基片,表面不平整、均匀性差、翘曲度大,材质软而脆,需要对钛酸锶陶瓷基片进行精密加工,以满足后续使用要求的面型精度和表面粗糙度。本文采用双面研磨的方式,在获得无划痕完整表面的基础上通过优化工艺参数 […]
钛合金铣削颤振过程振动非线性特征研究 07月06日
【摘要】航空航天等领域随着现代工业的快速发展和激烈的市场需求,产品不断向高精度和高效率制造技术方向发展,其中钛合金材料在航空航天产品中占主导地位,但是由于钛合金典型零件具有形状复杂、刚性差、切削力大的特点,导致铣削中发生颤振问题,严重影响着表面质量和生产效率。因此,本文结合理论分析和试验研究,对铣削颤振过程振动非线性特征开展以下研究。首先,针对钛合金铣削稳定性中的颤振问题,进行铣削变切深试验,采用 […]


