【摘要】钛酸锶陶瓷(SrTiO3)作为一种新型多功能电子陶瓷材料,具有介电常数高、介电损耗低、热稳定性好、耐电压强度高等优点,目前已成为国际上电子陶瓷材料研究的热点。但是采用流延无压烧结工艺烧制的钛酸锶陶瓷基片,表面不平整、均匀性差、翘曲度大,材质软而脆,需要对钛酸锶陶瓷基片进行精密加工,以满足后续使用要求的面型精度和表面粗糙度。本文采用双面研磨的方式,在获得无划痕完整表面的基础上通过优化工艺参数 […]