【摘要】半导体工业中，离子注入技术作为一种新型的掺杂技术，克服了传统热扩散掺杂技术的缺点，具有高精度的剂量均匀性、加工温度低，重复性好等优点，已在大规模集成电路制造中得到了广泛的应用。为了控制和提高离子注入后半导体的质量，需要对注入离子剂量、离子能量、注入深度等工艺参数与半导体的电子输运参数（如载流子寿命和电扩散系数）的关系进行检测和监控。传统测量电子输运参数的方法主要有开路电压衰减法（OCVD） […]

【摘要】钛及钛合金作为常用的人工替代材料被广泛的应用于临床外科及牙科。虽然已有很多研究表面钛本身具有良好的机械性能、表面特性及生物相容性[1]，然而未经处理的钛作为一种生物惰性材料并不具有生物活性，易被细菌感染，同时也无法获得抗菌性能。据研究表明，牙种植体周围细菌感染所致的种植体周围炎，最终将导致种植体与周围骨组织结合界面丧失，种植体松动、脱落[2,3]。将钛种植体表面改性使其具有良好的生物相容性 […]

【摘要】立方氮化硼(cBN)具有极高的热导率，能实现N型和P型掺杂，以及高介电强度、优异的热稳定性和化学稳定性等许多优秀性质，在高温、高功率电子器件和深紫外光电器件领域具有重要的应用前景。cBN的禁带宽度高达6.4eV，是III-V族化合物中最大的，其电阻率非常大，通常在109cm以上，需要用掺杂的手段加以改善。目前cBN的掺杂主要以原位掺杂手段为主，其他方法较少。但是原位掺杂工艺通常用于实验室研 […]

【摘要】本文采用离子注入技术对316不锈钢进行表面改性,通过注入具有良好耐腐蚀性能和导电性能的铌元素,提高不锈钢表面膜层钝化性能和耐腐蚀性能。应用极化曲线、交流阻抗和半导体性能测试等电化学技术对NaCl溶液中316不锈钢和离子注入铌316不锈钢的电化学行为及摩擦行为进行研究。研究结果得出以下结论：1.X-射线衍射分析发现,离子注入铌后316不锈钢表面形成的化学惰性良好的NbO2、Nb2O5膜层,使 […]

【摘要】光子微结构是能够控制光子运动的微米、亚微米量级的结构,是目前国际上光学研究领域的前沿和热点之一,它通过人工方法在均匀的光学材料引入折射率的变化来调制光在结构中的传输模式,从而实现光学信号的传递、放大、探测、传感等,在光通信、计算和超快速信息处理等领域具有广泛的应用前景。在光学材料中,将多种功能的光子微结构结合在一起制备具有整体功能的光子集成芯片,可以实现光学器件的小型化、集成化。因此,制备 […]