基于光载流子辐射的离子注入半导体电输运参数深度轮廓重建技术

基于光载流子辐射的离子注入半导体电输运参数深度轮廓重建技术

作者:师大云端图书馆 时间:2022-03-21 分类:参考文献 喜欢:932
师大云端图书馆

【摘要】半导体工业中,离子注入技术作为一种新型的掺杂技术,克服了传统热扩散掺杂技术的缺点,具有高精度的剂量均匀性、加工温度低,重复性好等优点,已在大规模集成电路制造中得到了广泛的应用。为了控制和提高离子注入后半导体的质量,需要对注入离子剂量、离子能量、注入深度等工艺参数与半导体的电子输运参数(如载流子寿命和电扩散系数)的关系进行检测和监控。传统测量电子输运参数的方法主要有开路电压衰减法(OCVD),二次离子质谱分析法(SIMS)等,但这些方法存在测量时间长,接触式和非实时性。近年来,人们提出了一种具有无损,快速,灵敏度高等优点的光生载流子辐射测量技术(PCR)。该方法根据离子注入半导体的结构特性采用“等效均匀层”理论测量了离子注入半导体的“等效”电子输运参数,但还不能对离子注入半导体深度方向的不均匀电子输运参数进行有效的分析。本文基于光生载流子辐射测量技术,针对离子注入半导体中沿深度方向的不均匀性,提出了一种离子注入半导体电子输运参数的深度轮廓重建技术,从理论和实验上进行了系统研究。在理论上,本文建立了一个适用于具有深度方向非均匀电子输运性质的光生载流子辐射测量的多层理论模型。将离子注入半导体中的不均匀部分等分为多层,使得本来连续变化的电输运参数在每一子层均可以看作是均匀不变的,通过理论推导得到了层与层之间的递推关系,最终光生载流子辐射(PCR)信号可表示为每一层PCR信号的叠加。通过数值模拟研究了模型的适用条件以及离子注入半导体中各个参数对PCR信号的影响。在实验中,对在不同剂量,不同能量状态下进行离子注入的系列硅半导体晶片进行了PCR信号测量。运用建立的多层理论模型对实验数据进行了多参数拟合,并利用得到的拟合参数值,成功重建了各晶片中的电子输运参数在不均匀部分的深度轮廓。
【作者】台锐;
【导师】王钦华;
【作者基本信息】苏州大学,光学工程,2014,硕士
【关键词】离子注入;电子输运参数;光生载流子辐射技术;多层模型;多参数拟合;深度轮廓重建;

【参考文献】
[1]周琳.基于用户研究的家具设计[D].中南林业科技大学,设计艺术学,2014,硕士.
[2]李有全.低频无线电能传输系统性能优化及实验研究[D].哈尔滨工业大学,仪器仪表工程,2014,硕士.
[3]王力尉.民俗文化资源的可持续利用研究[D].成都理工大学,科学技术哲学,2013,硕士.
[4]王萌.连山壮族瑶族自治县生态旅游发展探析[D].广东技术师范学院,民族学,2013,硕士.
[5]陈瑞仲.多西他赛联合卡培他滨方案与培美曲塞单药二线化疗晚期肺腺癌的对比研究[D].广西医科大学,肿瘤学(专业学位),2013,硕士.
[6]陆瑶.基于校园一卡通的图书管理系统的设计与实现[D].电子科技大学,软件工程(专业学位),2012,硕士.
[7]崔小敏.马克思的社会冲突根源论及其当代价值[D].湖北大学,马克思主义中国化,2012,硕士.
[8]乔辉.从日本地下空间的发展来看西安城市地下空间的利用[D].西安建筑科技大学,建筑设计及其理论,2013,硕士.
[9]张政.高度有序聚苯胺纳米线阵列的可控制备[D].广东工业大学,化学工程与工艺,2014,硕士.
[10]范一鸣.会计师事务所合并对审计风险控制与审计质量的影响[D].苏州大学,会计(专业学位),2013,硕士.
[11]孙志斌.超重力氨法烟气脱硫技术基础研究[D].中北大学,化学工程,2013,硕士.
[12]彭丽萍.教育公平视角下的少数民族教育研究[D].山东大学,行政管理,2013,硕士.
[13]樊少峰.三聚氰胺在养殖水体中的分布与迁移[D].广东工业大学,环境科学与工程,2014,硕士.
[14]王宇.人参皂苷Rg3抑制人小细胞肺癌NCI-H446细胞增殖及下调caveolin-1表达作用的研究[D].大连医科大学,肿瘤学,2012,硕士.
[15]王子珺.小数分频锁相环的设计[D].北京理工大学,电子与通信工程,2014,硕士.
[16]李贞.电站燃煤锅炉烟气中颗粒物排放特性与脱除的数值模拟[D].上海电力学院,热能工程,2014,硕士.
[17]谢雨桐.结构:人造盔甲[J].世界科学,2015,05:24-26.
[18]张威.肉桂酸类物质光二聚反应立体选择性的研究[D].河北师范大学,有机化学,2012,硕士.
[19]李敏.曲径通幽的历史探问[D].华中师范大学,现当代文学,2013,硕士.
[20]潘国强.跨越中美文化障碍——一个时间取向视角的思考[D].上海师范大学,英语语言文学,2003,硕士.
[21]袁德宇.类人猿机器人复杂地貌下路径搜索与全方位步行研究[D].哈尔滨工业大学,机械设计及理论,2014,硕士.
[22]毛锐涛.马铃薯甲基转移酶和去甲基化酶预测及表达研究[D].内蒙古大学,微生物学,2014,硕士.
[23]宋志娟.城乡失能老人社区居家照护服务差异及对策[D].重庆大学,行政管理,2014,硕士.
[24]张羽.Charlotte’s Web 两个汉译本的对比研究:从中国儿童文学文体特点的视角[D].西安外国语大学,外国语言学及应用语言学,2013,硕士.
[25]罗新星,彭久生.基于粗糙集理论的数据挖掘方法在电子商务中的应用[J].科技情报开发与经济,2003,07:175-177.
[26]康新瑞.基于生态位理论的第三方物流企业竞争策略研究[D].中南林业科技大学,企业管理,2013,硕士.
[27]钟明寿,龙源,李兴华,常鉴,张洋溢.碳酸盐岩中炮孔不耦合系数对地震激发效果影响的分析[J].石油地球物理勘探,2011,02:165-169+155.
[28]汪异.钼基合金高温抗氧化涂层的制备及其性能研究[D].中南大学,材料加工工程,2014,博士.
[29]康媛.跨文化交际中英语码转换的语用功能[D].西安外国语大学,英语语言文学,2013,硕士.
[30]郝晓明.碳金融体系的国际比较研究[D].山西财经大学,金融学,2014,硕士.
[31]王学思.焦磷锆钛的合成及其对铯离子的吸附性能[D].天津大学,化学工程,2013,硕士.
[32]胡娟.基于多元智能的初中英语教学策略的行动研究[D].上海外国语大学,教育技术学,2013,硕士.
[33]潘静.大麻素受体1对大鼠非酒精性脂肪性肝病作用的实验研究[D].山西医科大学,消化内科学,2013,硕士.
[34]肖洪艳.海上保险保证研究[D].湖南师范大学,国际法学,2004,硕士.
[35]王贤君.太阳能热水系统在建筑全寿命期的综合效益评价研究[D].西安建筑科技大学,项目管理,2013,硕士.
[36]李洋.磁絮凝分离—生物滴滤组合工艺处理小城镇污水研究[D].哈尔滨工业大学,环境工程,2014,硕士.
[37]张腾.基于VISSIM的长安立交合流区通行能力仿真研究[D].长安大学,计算机技术,2013,硕士.
[38]沈子龙.土地发展权中国化的路径选择[D].浙江大学,2009.
[39]陈明杰.双色红外图像处理与彩色显示系统设计[D].南京理工大学,光学工程,2013,硕士.
[40]何莎,闫学东,庞洪涛,赵佳.雾天对驾驶行为的影响研究——避撞驾驶行为[J].交通信息与安全,2014,05:126-129+184.
[41]杨伦乐.基于T-S模糊双线性模型的非线性系统分析与控制[D].西安电子科技大学,运筹学与控制论,2012,硕士.
[42]张红亮.基于时间视角的跨组织流程建模研究[D].哈尔滨工业大学,管理科学与工程,2014,硕士.
[43]周涛.PbO_2-ZrO_2纳米复合电极的制备与性能研究[D].河北工业大学,应用化学,2013,硕士.
[44]谢林柏.网络化控制系统中若干问题的研究[D].华中科技大学,2004.
[45]谢小添.绿色专利制度下的汽车零部件再造问题研究[D].华中科技大学,民商法学,2013,硕士.
[46]王毅,于浩,简选,贺小芳,齐广才.直接电化学方法制备石墨烯修饰电极及对肼的检测[J].分析测试学报,2012,12:1581-1585.
[47]袁海龙.红外空心Bragg光纤制备工艺的研究[D].南京邮电大学,光学工程(专业学位),2013,硕士.
[48]赵琼.地方政府性债务现状及审计监督研究[D].内蒙古大学,公共管理,2014,硕士.
[49]庄道民.抗HIV药物体外药效学研究关键技术的建立和应用[D].中国人民解放军军事医学科学院,2009.
[50]郭华章,殷缨,王文亮,蔡宏伟,王哲,闫庆国,樊荣,高东怀,杨安钢,李青,金伯泉.建立基于公开软件的校园生物信息学平台[J].第四军医大学学报,2004,08:765-768.

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