【摘要】微加工技术是当今一种最基本的现代科学技术。它源自半导体加工工艺,多用于硅基材料,且多为二维平面结构,基于传统光刻技术。而微加工则是最主要也是最成功的技术,传统光刻技术在半导体工业中发挥了极其重要的作用。但对于生物,化学,医药这些非半导体领域,传统光刻技术用的较少。和传统光刻技术相比,软光刻技术作为另一种微加工技术从二十世纪九十年代兴起,具有更加广阔的应用领域。软光刻技术作为一种微图形复制技 […]

【摘要】半导体激光器具有体积小、容易集成、高效率、长寿命和相对较低的成本等优点，被广泛地应用在光纤通信和激光加工等领域。其中边发射半导体激光器由于其高的发光功率和高稳定性而在材料处理和激光加工等方面具有很好的应用前景。然而，边发射半导体激光器的出射光束存在严重的质量缺陷而影响了其在广泛领域的应用。例如其较大的且不对称的发散角，一般边发射半导体激光器的出射光束在快轴方向的发散角在300-600之间， […]

【摘要】大功率半导体激光器由于具有制备工艺简单、输出功率大、电光效率高、可靠性好等优点,被广泛应用于军事、工业、航空、航天等关系国家竞争力的关键领域。但在激光遥控制导中,由于大气传输衰减严重,加之导弹羽姻的衰减和导弹发动机火光的干扰,要想将激光信息准确传输到导弹上,必须有理想的信噪比,因此,要求有非常高的激光功率；同时激光制导要求激光信息场光斑均匀性好；制导武器站要求激光发射机体积小；集成度高,可 […]

【摘要】在光刻、激光打印、材料加工、医疗器械、光学数据存储、光学处理、电子行业的微精细加工、干涉测量以及光学全息等领域，激光整形系统的好坏是决定器件整体性能优劣的关键因素之一。目前常用的激光整形技术有二元光学元件、液晶空间光调制器、积分镜、随机相位板、变折射率透镜、双折射透镜组、微透镜阵列等。在各种类型的激光整形器件中，微透镜阵列具有辐照均匀、材料易获取、制造工艺简单、光学损耗低、易于集成等优势。 […]