【摘要】微加工技术是当今一种最基本的现代科学技术。它源自半导体加工工艺,多用于硅基材料,且多为二维平面结构,基于传统光刻技术。而微加工则是最主要也是最成功的技术,传统光刻技术在半导体工业中发挥了极其重要的作用。但对于生物,化学,医药这些非半导体领域,传统光刻技术用的较少。和传统光刻技术相比,软光刻技术作为另一种微加工技术从二十世纪九十年代兴起,具有更加广阔的应用领域。软光刻技术作为一种微图形复制技 […]