【摘要】在光刻、激光打印、材料加工、医疗器械、光学数据存储、光学处理、电子行业的微精细加工、干涉测量以及光学全息等领域，激光整形系统的好坏是决定器件整体性能优劣的关键因素之一。目前常用的激光整形技术有二元光学元件、液晶空间光调制器、积分镜、随机相位板、变折射率透镜、双折射透镜组、微透镜阵列等。在各种类型的激光整形器件中，微透镜阵列具有辐照均匀、材料易获取、制造工艺简单、光学损耗低、易于集成等优势。 […]