【摘要】鉴于传统硅基MEMS压力传感器在高温、潮湿等复杂环境中的应用具有一定的局限性，本文设计了一种SiC基无线高温压力传感器，能够克服高温环境中传统压力传感器压敏结构失稳及电引线性能退化的问题。SiC材料作为一种新兴的第三代宽带隙半导体材料，其半导体器件能够适应高温、高频、大功率等工作环境，随着SiC材料MEMS加工工艺的不断成熟，对其进行高温压力传感器的制备研究具有重要的现实意义。本文结合国内 […]

【摘要】矢量水听器作为一种能够同时获得声场标量信息和矢量信息的水听器，得到国内外水声领域的高度重视。由中北大学研制的二维MEMS仿生矢量水听器具有体积小、低频响应好，刚性安装等优点，但也存在只能实现二维平面定向，无法有效确定水下目标空间方位的缺陷。为实现水下声目标空间定向，本文对MEMS仿生三轴向压阻矢量水听器进行了研究。首先，本文在分析研究鱼类侧线感觉器的基础上，设计了水听器的MEMS仿生三轴微 […]

【摘要】超级电容器，是一种新型电能储存元件，具有电容量大、漏电流小等优点，目前已被广泛应用于多个领域。但随着越来越多的微纳米尺寸的微小型器件得到应用，普通超级电容器由于尺寸大已无法为这些微小型器件提供能源，因此人们将MEMS技术与超级电容器相结合，研制出一种微纳米尺寸的新型超级电容器，它被称为MEMS超级电容器或者MEMS微电容。MEMS微电容具有存储能量大、循环寿命长、体积微型化等优点，可为微小 […]