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LTCC高温压力传感器的关键技术研究 04月03日

【摘要】高温压力传感器是民用工业如汽车、航空领域等以及国防军工领域中需求最广泛的器件,同时也是微电子机械系统(MEMS)的主要产品之一。相比传统的压力传感器,无线无源高温压力传感器在恶劣环境下有着巨大的优势。本文主要对LTCC(低温共烧陶瓷)无线无源高温压力传感器的高温特性以及无线信号的耦合距离进行了研究,对恶劣环境下压力参数的测量有着重要的意义。本文介绍了LTCC无线无源高温压力传感器的常见结构 […]

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LTCC生瓷带流延工艺研究 07月14日

【摘要】通过合理调配材料成分,有效充分地球磨混料,精确控制工艺参数,成功流延加工出一种硼硅酸盐玻璃/氧化铝陶瓷复合材料体系的低温共烧陶瓷(LTCC)生瓷带。通过对LTCC生瓷带进行热解质量(TG)分析,确定了LTCC基板的烧结温度曲线,对比测试了试制LTCC生瓷带与DuPont951PT生瓷带及其烧成LTCC基板的性能,考核了试制生瓷带的LTCC加工工艺适应性。结果表明,试制LTCC生瓷带与951 […]

氧化硅基陶瓷的湿化学制备与微波介电性能研究 06月11日

【摘要】当前,用于基板的低介电常数类微波介质材料引起了极大的关注。微波基板材料要求低的介电常数(εr),高Q·f值以及近零谐振频率温度系数(τf)。二氧化硅陶瓷是一种高性能微波基板材料,介电常数低、介电损耗低、勺小,机械强度高、与银化学兼容性好、无毒、原料来源丰富、成本低廉,作为微波基板和LTCC设备具有广阔的应用前景。但存在其烧结温度过高、谐振频率温度系数不近零、出现微裂纹等问题。本文利用溶胶- […]