【摘要】高温压力传感器是民用工业如汽车、航空领域等以及国防军工领域中需求最广泛的器件，同时也是微电子机械系统（MEMS）的主要产品之一。相比传统的压力传感器，无线无源高温压力传感器在恶劣环境下有着巨大的优势。本文主要对LTCC（低温共烧陶瓷）无线无源高温压力传感器的高温特性以及无线信号的耦合距离进行了研究，对恶劣环境下压力参数的测量有着重要的意义。本文介绍了LTCC无线无源高温压力传感器的常见结构 […]