【摘要】相较于传统油墨，采用微纳结构实现色彩效果具有低污染、颜色鲜艳不易褪色等优点，但因其结构复杂或制作工艺的繁琐，很难得到大幅面工业化的生产。微纳米压印技术是近年逐步发展起来的微加工技术，以高分辨率、高效率、低成本等优势，被称为“可能改变世界的十项技术之一”。本文基于微纳米压印技术和金属镀膜技术，提出一种制作金属-介质-金属薄膜结构彩色滤光片阵列的方法。首先，利用薄膜传输矩阵理论模拟了各层薄膜厚 […]

【摘要】光栅位移传感器具有精度高、稳定性好、响应速度快、抗干扰能力强等优点，广泛用于测量仪、数控机床等高精度位置测量领域。目前，精密光栅线位移测量系统普遍采用增量式光栅，将直线位移物理量转换为莫尔条纹光信号，由光电器件接收后转换为电信号，然后送至信号处理电路，通过处理后，输出相对位移量。国内的直线光栅尺多数是增量式光栅尺，这种光栅尺在开启或复位时需要“寻零”，而且存在累积误差现象，影响工件加工或测 […]

【摘要】基于泰伯效应和莫尔条纹技术的大口径长焦距测试方法中,两光栅栅线夹角,莫尔条纹与水平方向的夹角对长焦距测量精度影响较大,本论文从两方面着手对此展开研究。一方面,针对测试系统中成像光路对莫尔条纹与水平方向夹角的影响,进行了仿真分析,提出调整方法并实验验证调整效果。另一方面,为了进一步提高长焦距测量精度,本文提出了一种基于莫尔条纹匹配技术的长焦距测量方法,并进行了仿真分析和实验。大口径长焦距测量 […]

【摘要】结合莫尔条纹、傅里叶变换和数字相移技术实现了对单幅干涉条纹图的高精度相位计算和波面重建。首先,用计算机生成与被处理干涉条纹频率相近的数字相移条纹图,与实际干涉条纹图叠加得到相移莫尔条纹图;然后,利用傅里叶变换、双频滤波、傅里叶反变换和相移技术得到干涉条纹图的相位数据;最后利用波面拟合技术重构原干涉条纹图对应的波面形状。研究结果表明,该技术不仅消除了干涉仪硬件相移产生的非线性误差和滤波时的频 […]

【摘要】光栅传感器具有量程大、适应环境能力强、成本低等优势，广泛应用在精密位移测量、数显数控、大行程精密定位、精密加工和微电子等行业中。目前各行业对光栅位移测量提出了大量程纳米级等更高要求。莫尔条纹细分是光栅纳米级测量的关键。对于高密度光栅采用低倍细分就可以实现纳米级测量，而低密度光栅则需要高倍细分才能实现纳米级测量。低密度光栅具有量程大、成本低等优势，本文选择了线低密度光栅传感器作为研究对象。目 […]