【摘要】光栅传感器具有量程大、适应环境能力强、成本低等优势，广泛应用在精密位移测量、数显数控、大行程精密定位、精密加工和微电子等行业中。目前各行业对光栅位移测量提出了大量程纳米级等更高要求。莫尔条纹细分是光栅纳米级测量的关键。对于高密度光栅采用低倍细分就可以实现纳米级测量，而低密度光栅则需要高倍细分才能实现纳米级测量。低密度光栅具有量程大、成本低等优势，本文选择了线低密度光栅传感器作为研究对象。目 […]