【摘要】光栅位移传感器具有精度高、稳定性好、响应速度快、抗干扰能力强等优点，广泛用于测量仪、数控机床等高精度位置测量领域。目前，精密光栅线位移测量系统普遍采用增量式光栅，将直线位移物理量转换为莫尔条纹光信号，由光电器件接收后转换为电信号，然后送至信号处理电路，通过处理后，输出相对位移量。国内的直线光栅尺多数是增量式光栅尺，这种光栅尺在开启或复位时需要“寻零”，而且存在累积误差现象，影响工件加工或测 […]

【摘要】随着现代加工和计量技术的发展，对位移测量及加工定位的精度提出了更高要求。在诸多的位移测量技术中，光栅位移传感器以其性能稳定、高精度、抗干扰能力强、与计算机结合方便等优点，被广泛应用在数控机床、机械加工等领域。本文基于JCXF系列光栅尺，研制出一款带USB接口的光栅数据采集与误差修正系统，该系统具有测量精度高、使用方便、小型化等优点。该光栅信号处理系统是采用软硬件相结合的方式实现的，整个系统 […]

【摘要】本论文结合国家科技基础条件平台项目“超低频振动国家标准装置的研究与建立”,对超低频标准振动台的相关设计理论及运动控制技术进行了研究。第一章阐述了论文的研究意义和研究内容。首先,总结了振动校准的内容和方法,分析了超低频振动校准的重要意义；其次,分析了振动计量的国内外研究现状,特别是超低频振动计量领域的研究现状；再次,分析了振动台结构设计及反馈控制技术的研究现状,提出了构建超低频标准振动台的意 […]