【摘要】光栅位移传感器具有精度高、稳定性好、响应速度快、抗干扰能力强等优点，广泛用于测量仪、数控机床等高精度位置测量领域。目前，精密光栅线位移测量系统普遍采用增量式光栅，将直线位移物理量转换为莫尔条纹光信号，由光电器件接收后转换为电信号，然后送至信号处理电路，通过处理后，输出相对位移量。国内的直线光栅尺多数是增量式光栅尺，这种光栅尺在开启或复位时需要“寻零”，而且存在累积误差现象，影响工件加工或测 […]