【摘要】在能源危机和环境污染日益严峻的今天,如何高效利用绿色清洁的太阳能受到了广泛关注和研究,晶体硅太阳电池是利用太阳能最有效的手段之一。为了降低晶体硅太阳电池的制造成本,并提高电池的光电转换效率,对太阳电池表面钝化技术的研究具有重要意义。本文首先研究了高压水蒸汽热处理对氢化非晶硅薄膜钝化效果改善情况。研究发现,高压水蒸汽热处理能明显改善氢化非晶硅薄膜钝化效果,而且即使在较低温度和较短时间条件下, […]

【摘要】霍尔效应测试是半导体测试技术中一种重要的测试手段,用于测量半导体材料的导电类型、载流子浓度、载流子迁移率等电学参数,在研究和生产中有广泛的应用。本文以霍尔效应测试为主要研究手段,研究了重掺n型单晶硅的载流子迁移率随温度变化的关系、迁移率计算模型Klaassen模型在n型补偿硅中的适用性、以及快速热处理(RTP)向硅中注入的氮的电活性,得到以下主要研究结果：(1)研究了重掺磷和重掺硼直拉单晶 […]