【摘要】在能源危机和环境污染日益严峻的今天,如何高效利用绿色清洁的太阳能受到了广泛关注和研究,晶体硅太阳电池是利用太阳能最有效的手段之一。为了降低晶体硅太阳电池的制造成本,并提高电池的光电转换效率,对太阳电池表面钝化技术的研究具有重要意义。本文首先研究了高压水蒸汽热处理对氢化非晶硅薄膜钝化效果改善情况。研究发现,高压水蒸汽热处理能明显改善氢化非晶硅薄膜钝化效果,而且即使在较低温度和较短时间条件下, […]

【摘要】本项研究设计、研制出在物理冶金多晶硅太阳电池表面沉积三层氮化硅薄膜。将PCID太阳电池设计软件模拟筛选出的最优沉积薄膜的工艺条件,用于实验制作三层氮化硅薄膜。利用等离子增强化学气相淀积设备,淀积三层氮化硅薄膜。经多次实验及不断优化模拟,得到了沉积三层氮化硅的最优工艺条件。实验结果给出：三层氮化硅薄膜的互补作用对电池起到很好的减反射效果,明显降低了太阳电池表面的反射。用激光椭圆偏振仪、紫外可 […]