【摘要】鉴于传统硅基MEMS压力传感器在高温、潮湿等复杂环境中的应用具有一定的局限性，本文设计了一种SiC基无线高温压力传感器，能够克服高温环境中传统压力传感器压敏结构失稳及电引线性能退化的问题。SiC材料作为一种新兴的第三代宽带隙半导体材料，其半导体器件能够适应高温、高频、大功率等工作环境，随着SiC材料MEMS加工工艺的不断成熟，对其进行高温压力传感器的制备研究具有重要的现实意义。本文结合国内 […]

【摘要】随着微机电系统技术的发展，压电泵凭借其结构简单、易于微型化等特点得到了广泛的研究和应用。压电隔膜泵是众多压电泵中最典型的一种，人们通过先进的设计理念和制造工艺对它进行优化，使压电隔膜泵的稳定性和输出性能不断完善和提高。在工业生产领域中压电隔膜泵的实际应用日趋广泛，但是特殊应用场合对压电隔膜泵的外形尺寸和输出性能同时提出了更高的要求。本文结合国家自然科学基金项目《压电型气体隔膜泵设计理论与关 […]