【摘要】随着微传感器件研究以及MEMS技术的不断深入，微加速度计的应用领域已经从军事领域扩展到民用领域。但是随着MEMS技术与其他学科的不断交叉融合，人们对加速度计的灵敏度、量程以及稳定性等指标有了更高的要求，如何解决传统硅微加速度计量程与灵敏度的矛盾，制备出具有高稳定性、高灵敏度、宽测量范围的新型加速度计成为了亟待解决的问题。本文主要提出一种结合MEMS加工技术以及光子晶体的新型加速度的设计。该 […]

【摘要】研究表明当电磁波在光子晶体中传播时，由于多层布拉格散射而形成能带结构，即光子能带，在光子能带之间存在光子带隙也称作光子禁带，频率处在光子禁带范围内的光子不能在光子晶体内传播，即光子晶体能够阻断特定频率光子的传播，而引入缺陷或者小范围内非周期排列的光子晶体，将在光子禁带范围内有透射峰存在，并且透射峰的透射率随着光子晶体外部所受应力大小的变化而变化。本论文借鉴介观压阻效应，运用等效传输矩阵方法 […]