【摘要】随着微传感器件研究以及MEMS技术的不断深入，微加速度计的应用领域已经从军事领域扩展到民用领域。但是随着MEMS技术与其他学科的不断交叉融合，人们对加速度计的灵敏度、量程以及稳定性等指标有了更高的要求，如何解决传统硅微加速度计量程与灵敏度的矛盾，制备出具有高稳定性、高灵敏度、宽测量范围的新型加速度计成为了亟待解决的问题。本文主要提出一种结合MEMS加工技术以及光子晶体的新型加速度的设计。该 […]