【摘要】本项研究设计、研制出在物理冶金多晶硅太阳电池表面沉积三层氮化硅薄膜。将PCID太阳电池设计软件模拟筛选出的最优沉积薄膜的工艺条件,用于实验制作三层氮化硅薄膜。利用等离子增强化学气相淀积设备,淀积三层氮化硅薄膜。经多次实验及不断优化模拟,得到了沉积三层氮化硅的最优工艺条件。实验结果给出：三层氮化硅薄膜的互补作用对电池起到很好的减反射效果,明显降低了太阳电池表面的反射。用激光椭圆偏振仪、紫外可 […]