【摘要】光学自由曲面形状复杂,精度要求很高,传统加工方法很难满足性能要求。快刀伺服车削加工技术通过高频响、高精度的刀具驱动装置,在主轴角度反馈的基础上,控制刀具实时跟踪工件面形的变化,能完成具有复杂面形的微光学元件模具的精密高效加工。本课题的研究目标是针对快刀伺服车削加工的特点,以压电陶瓷作为快刀伺服系统的驱动部件,以带柔性铰链的刀架作为高频响输出位移的转换机构,研制出一套超精密快速车削伺服进刀系 […]

【摘要】随着科学技术的不断发展,在超精密加工、生物工程、微电子工程、纳米科学与技术等各个领域,对驱动进给技术提出越来越高的要求：实现在大行程范围内的精确定位。宏/微结合双驱动技术是目前实现大行程、高精度运动控制的一种有效策略。音圈电机是基于安培力原理的一种新型直接驱动电机。它可避免传动环节存在的间隙等不足,而且在理论上具有高加速度、高速度、高响应、体积小、力特性好等优点,所以适用于要求高加速度、高 […]