【摘要】人眼不可以观察到在黑暗环境下的目标物体,热成像探测器能够解决这个问题因此近年来热成像探测器在军事和民用应用十分广泛。基于光学读出方法的双材料微悬臂梁FPA阵列热成像便是这方面最重要的技术。本文提出的热探测器件结构是基于双材料微悬臂设计的一种新型的热敏感单元,并且读出方式是光学读出方式,这再很大程度上降低了系统设计成本且大大提高结构成功率。实验对氮化硅薄膜的性能以及制作过程的步骤以及各项参数 […]

【摘要】本项研究设计、研制出在物理冶金多晶硅太阳电池表面沉积三层氮化硅薄膜。将PCID太阳电池设计软件模拟筛选出的最优沉积薄膜的工艺条件,用于实验制作三层氮化硅薄膜。利用等离子增强化学气相淀积设备,淀积三层氮化硅薄膜。经多次实验及不断优化模拟,得到了沉积三层氮化硅的最优工艺条件。实验结果给出：三层氮化硅薄膜的互补作用对电池起到很好的减反射效果,明显降低了太阳电池表面的反射。用激光椭圆偏振仪、紫外可 […]