纳米三坐标测量机软件开发及其应用
【摘要】本论文基于C++Builder6.0开发环境开发了纳米三坐标测量机(nano-CMM)软件系统,主要程序模块如下:(1)开发了探头及位置传感器的信号处理程序,探头传感器由一个迈克耳逊干涉仪和一个自准直仪组成。程序部分包括信号采集与预处理、干涉仪信号的计数与相位细分、角度传感器的信号转换。传感器中干涉仪分辨率可达1nm,角度测量分辨率达0.1角秒。(2)开发了基于BPNN-PID(BackPropagationNeuralNetworkPID)控制器的纳米闭环定位控制软件,该算法使用BPNN网络来自动给出PID参数;搭配HR4马达提供的三种不同速度和分辨率的驱动模式(ACMode,GateMode,DCMode),可实现启动时无速度过冲、中间匀速、最后精准定位至纳米级的定位控制。实验表明补偿系统误差后,在20mm的行程内可实现20nm的定位精度。(3)探头二次触发控制与触发点拟合程序的开发。第一次触发可快速找到触发点的大概位置,第二次则慢速找寻触发点的精确位置。对第二次触发前进过程中保存的数据进行处理,通过一定的算法将数据分为触发前水平区段和触发后线性区段,对拟合出的两条直线取交点,则该交点为触发点。实验时对单点进行5次触发,触发点重复性标准差为31nm。(4)基于最小二乘法原理开发了平面直线、空间直线、空间平面、圆、球、圆柱等常见几何形状的测量程序。
【作者】张晴;
【导师】范光照;
【作者基本信息】合肥工业大学,精密仪器及机械,2014,硕士
【关键词】纳米三坐标测量机;BPNN-PID;定位控制;二次触发;测量程序;
【参考文献】
[1]杨赤,马竹梧.中小型氧气转炉成套自动化系统(下)[J].冶金自动化,2003,04:5-8.
[2]于巴锁.西安市瑜伽健身运动现状研究[D].西安体育学院,运动人体科学,2013,硕士.
[3]张守银.飞机零部件的统计过程控制研究与应用[D].上海交通大学,工业工程,2013,硕士.
[4]马振权.合作学习模式在高中英语读写一体化教学中的应用[D].沈阳师范大学,课程与教学论,2014,硕士.
[5]李丹丹.报业记者工作压力调查及对策研究[D].南昌大学,应用心理学,2012,硕士.
[6]宋静.微波数字式移相器的研究[D].合肥工业大学,电路与系统,2004,硕士.
[7]张强.高校研究型软件开发过程管理的研究与实现[D].沈阳工业大学,计算机应用技术,2004,硕士.
[8]江小娟.伊藤左千夫小说中的女性形象[D].华中师范大学,日语语言文学,2014,硕士.
[9]郑盼盼.基于智能优化和模式识别的图像数字水印研究[D].西北大学,计算机应用技术,2013,硕士.
[10]王剑飞.日粮中不饱和脂肪酸比例(n-6/n-3)对鹅产肉性能和肉品风味影响的研究[D].扬州大学,动物营养与饲料科学,2011,硕士.
[11]王跃强.弱激光治疗对LPS诱导大鼠乳腺炎粘附分子的影响[D].黑龙江八一农垦大学,临床兽医学,2013,硕士.
[12]TuzieMbazingwaSenkoro.The Effects of Plant Neighboring Relationship on Large Herbivore Foraging[D].东北师范大学,Ecology,2012,硕士.
[13]章磊.“山寨”现象的知识产权法解读[D].扬州大学,民商法学,2011,硕士.
[14]陈竹睿.编码FLC-FLAG和SVP-HA标签蛋白表达载体转化芥菜的研究[D].西南大学,蔬菜学,2013,硕士.
[15]许超.DMPP氮肥蔬菜硝酸盐污染控制及硝酸盐速测技术研究[D].浙江大学,植物营养学,2004,硕士.
[16]徐慧.论企业核心竞争力[D].安徽大学,企业管理,2004,硕士.
[17]曹璟.房地产住宅项目的关系营销研究[D].苏州大学,工商管理(专业学位),2014,硕士.
[18]孟凡超,李超,王亦修,吕书玲,王悦,马正飞.多组分气体吸附平衡预测的探究[J].天然气化工(C1化学与化工),2015,01:30-35+77.
[19]张丹丹.煤化工废水生化处理后二沉池出水回用的腐蚀特性研究[D].哈尔滨工业大学,环境科学与工程,2014,硕士.
[20]李可.自主管理灌排区的运行机制及其绩效分析[D].河南农业大学,农业经济管理,2004,硕士.
[21]范丽媛.镁格氏试剂与α-卤代酮、酯的反应研究及铜催化构建苯并噁嗪-3-酮类化合物[D].苏州大学,有机化学,2013,硕士.
[22]李彬.饲料蛋白质水平对三种规格草鱼生长、饲料利用以及氮代谢的影响[D].华中农业大学,水产养殖学,2014,硕士.
[23]HuAnjun.从关联理论的角度解析2003-2012年《政府工作报告》中文化负载词的翻译[D].西安外国语大学,外国语言学及应用语言学,2013,硕士.
[24]姚雪.我国城管综合执法主体制度研究[D].安徽大学,宪法学与行政法学,2014,硕士.
[25]高飞.唐代小说中的神女形象研究[D].辽宁大学,中国古代文学,2012,硕士.
[26]辛亚.改性TiO_2纳米材料光催化甘油水溶液制氢性能研究[D].天津大学,工业催化,2013,硕士.
[27]金雪.改性天然粘土作为胃部药物和基因协同给药体系的研究[D].浙江大学,化学,2013,硕士.
[28]刘春燕.论冯惟敏杂剧与散曲的思想成就[D].新疆师范大学,中国古代文学,2004,硕士.
[29]王梦雪.论犯罪行为产生的作为义务[D].苏州大学,刑法学,2013,硕士.
[30]饶舟.植物油改性阳离子水性聚氨酯的合成及性能研究[D].安徽大学,高分子化学与物理,2013,硕士.
[31]蔡其华.序[J].人民长江.2002(10)
[32]邹喜萍.产品合规认证中的项目管理研究[D].上海交通大学,项目管理,2013,硕士.
[33]祝祥龙.模糊图像分割技术研究[D].浙江工商大学,信号与信息处理,2014,硕士.
[34]吴健瑜.电针胃经合穴对腹部术后胃肠动力恢复的临床研究[D].广州中医药大学,中西医结合临床(专业学位),2013,硕士.
[35]詹世革,甘春标.2010年度力学科学处面上项目、青年科学基金和地区科学基金资助情况介绍[J].力学进展,2010,05:589-600.
[36]马锦绢.地形复杂度量化研究[D].南京师范大学,地图学与地理信息系统,2012,硕士.
[37]杨德先,陈德树,陈卫,吴彤,张凤鸽.特高压交流输电系统的动态物理模型[J].电力系统自动化,2008,22:36-40.
[38]朱健.上海高考语文试卷研究[D].扬州大学,学科教学,2011,硕士.
[39]黄喆婵.纳米羟基磷灰石/丝素蛋白/细菌纤维素复合支架材料的制备与评价[D].华中科技大学,生物材料与组织工程,2013,硕士.
[40]陈淑娴.人乳腺癌细胞系MCF7耐阿霉素的机制分析[D].江南大学,微生物与生化药学,2012,硕士.
[41]罗党.基于正负靶心的多目标灰靶决策模型[J].控制与决策,2013,02:241-246.
[42]王菲.大学生就业差异问题研究[D].吉林大学,思想政治教育,2013,硕士.
[43]魏小花.殷墟墓葬玉器之研究[D].南京师范大学,考古学及博物馆学,2012,硕士.
[44]温自添.聚阳离子型固色剂的研制及应用研究[D].浙江理工大学,纺织化学与染整工程,2013,硕士.
[45]熊伟.《海洋绿色经济》(第二章)翻译报告[D].四川外国语大学,翻译(专业学位),2014,硕士.
[46]李云山.买卖合同中风险负担制度研究[D].华东政法学院,法律,2003,硕士.
[47]伏晓,骆斌,陈世福.基于语义的Web挖掘[J].计算机科学,2005,03:202-206.
[48]王伟伟.青海高寒区不同人工林群落下林下植被的生态特性研究[D].北京林业大学,水土保持与荒漠化防治,2013,硕士.
[49]罗国程.素质教育:教育行动研究与中小学校组织变革[D].江西师范大学,教育管理,2004,硕士.
[50]刘向辉.专题性智能搜索引擎的研究与实现[D].昆明理工大学,2001.
- 下一篇: 亚像素边缘检测与几何特征的自动识别
- 上一篇: 乌海市资源型产业转型战略研究