【摘要】本论文基于C++Builder6.0开发环境开发了纳米三坐标测量机（nano-CMM）软件系统，主要程序模块如下：(1)开发了探头及位置传感器的信号处理程序，探头传感器由一个迈克耳逊干涉仪和一个自准直仪组成。程序部分包括信号采集与预处理、干涉仪信号的计数与相位细分、角度传感器的信号转换。传感器中干涉仪分辨率可达1nm，角度测量分辨率达0.1角秒。(2)开发了基于BPNN-PID(BackP […]