基材清洗工艺对SiO_2/PET膜基结合强度的影响

【摘要】采用磁控溅射工艺,在PET表面沉积SiO2薄膜,利用SEM观察镀膜的表面形貌,通过附着力测试仪检测SiO2/PET膜基的结合强度,研究基材PET表面清洗工艺对SiO2/PET膜基结合强度的影响。结果表明:结合强度因PET基材表面清洗工艺的不同而不同,其中经等离子清洗的膜基结合强度最大,达0.14MPa,分别较深度清洗、一般清洗和不清洗的膜基结合强度高7.83%,27.27%,55.56%;等离子清洗工艺参数对膜基结合强度有较大影响,随着清洗时间的增加、氩气流量的增大和清洗功率的提高,膜基的结合强度均呈现出先增大后减小的变化趋势。
【作者】丁泽良；林长生；董运超；孙敏；
【机构】湖南工业大学机械工程学院；
【关键词】清洗工艺；磁控溅射；SiO2/PET膜；结合强度；

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