首页

MOCVD法制备ZnO的成核与生长研究 07月19日

【摘要】氧化锌(ZnO)是一种直接帶隙宽禁带半导体材料,在室温下禁带宽度为3.37eV,激子束缚能高达60meV,在短波长光电子器件和光探测器等领域有着极为广泛的应用前景。为了实现ZnO器件与Si芯片工艺的集成,人们广泛关注于Si衬底上ZnO的生长。但是因为ZnO和Si衬底的晶体类型差异与晶格常数差异,制备高质量ZnO/Si薄膜一直是个难题。而且,自ZnO纳米线的紫外光泵浦激射被报道以来,合成不同 […]