【摘要】单晶硅片随着太阳能晶体硅的普及在国内外市场上需求剧增,尤其大直径单晶体的需求量增长迅速。目前国内使用的红外间接测量直径技术不能测得晶体的准确直径从而导致晶体等径质量差,其达不到市场对大直径晶体的需求,所以紧迫要求硅单晶制备技术的提高。本文就是基于这种情况下,利用机器视觉技术进行单晶体直径的在线测量,实现硅单晶生成过程全程自动监控,减少人力干预,为全自动晶体控制设备提供高精度的实际直径数据, […]