【摘要】精密定位技术是精密工程领域的关键技术之一，衡量精密定位技术发展水平的重要标志是高精度和高分辨率。随着科学技术的发展，精密定位技术的系统精度和分辨率经历了由毫米级、微米级、亚微米级，提高到今天的纳米级。在精密加工中，系统的精度和分辨率都要求达到纳米量级，对微位移定位系统的驱动元件和控制方法的要求也较高。磁控形状记忆合金（MSMA，即MagneticallyControlledShapeMem […]